Die Ultraviolett-Revolution: Im Inneren der unsichtbaren 150-Millionen-Dollar-Maschinen, die die Zukunft der Mikrochips gestalten
Ultraviolett-Lithografiemaschinen kosten jeweils über 150 Millionen Dollar und sind so groß wie ein Bus. Branchenbeobachter nennen die neueste Generation dieser Geräte „die Maschinen, die das Moore’sche Gesetz gerettet haben“, weil sie moderne, fortschrittliche Prozessoren ermöglichen. ASML ist der einzige Anbieter von EUV-Lithografiesystemen,
