
Η Επανάσταση του Υπεριώδους: Μέσα στα Αόρατα Μηχανήματα των 150 Εκατ. Δολαρίων που Διαμορφώνουν το Μέλλον των Μικροτσίπ
Οι μηχανές λιθογραφίας υπεριώδους ακτινοβολίας κοστίζουν πάνω από 150 εκατομμύρια δολάρια η καθεμία και έχουν το μέγεθος ενός λεωφορείου. Οι παρατηρητές της βιομηχανίας αποκαλούν τη νεότερη γενιά αυτών των εργαλείων «οι μηχανές που έσωσαν τον νόμο του Moore» επειδή καθιστούν δυνατούς τους