La révolution ultraviolette : à l’intérieur des machines invisibles à 150 millions de dollars qui façonnent l’avenir des microprocesseurs
Les machines de lithographie ultraviolette coûtent plus de 150 millions de dollars chacune et sont de la taille d’un bus. Les observateurs de l’industrie surnomment la dernière génération de ces outils « les machines qui ont sauvé la loi de Moore »
