Az ultraibolya forradalom: A láthatatlan, 150 millió dolláros gépek, amelyek a mikrochipek jövőjét formálják
Az ultraibolya litográfiai gépek ára darabonként meghaladja a 150 millió dollárt, és akkora méretűek, mint egy busz. Az iparági megfigyelők a legújabb generációs eszközöket „a gépek, amelyek megmentették Moore törvényét” névvel illetik, mivel ezek teszik lehetővé a modern, élvonalbeli processzorokat. Az ASML
